Õhukeste kilede kattekihtide pihustussihtmärkides kasutatavad peamised materjalid

Pihustusprotsessi käigus aurutatakse lähtematerjali, mida nimetatakse märklauaks, et sadestada õhuke ja suure jõudlusega kile sellistele toodetele nagu pooljuhid, klaas ja ekraanid. Märklaua koostis määrab otseselt katte omadused, mistõttu on materjali valik kriitilise tähtsusega.

Kasutatakse laia valikut metalle, millest igaüks on valitud konkreetsete funktsionaalsete eeliste jaoks:

Elektroonika ja vahekihtide alusmetallid

Kõrge puhtusastmega vaske hinnatakse selle erakordse elektrijuhtivuse tõttu. 99,9995% puhtusastmega vask on oluline mikroskoopilise juhtmestiku (ühenduste) loomiseks täiustatud mikrokiipides, kus minimaalne elektritakistus on kiiruse ja efektiivsuse seisukohalt ülioluline.

Kõrge puhtusastmega nikkel on mitmekülgne tööloom. Seda kasutatakse peamiselt suurepärase adhesioonikihi ja usaldusväärse difusioonibarjäärina, mis takistab erinevate materjalide segunemist ning tagab mitmekihiliste seadmete struktuurilise terviklikkuse ja pikaealisuse.

Tulekindlad metallid nagu volfram (W) ja molübdeen (Mo) on hinnatud nende kõrge kuumakindluse ja stabiilsuse poolest ning neid kasutatakse sageli tugevate difusioonibarjääridena ja kontaktidena nõudlikes keskkondades.

Spetsialiseeritud funktsionaalsed metallid

Kõrge puhtusastmega hõbe pakub kõigist metallidest kõrgeimat elektri- ja soojusjuhtivust. See teeb sellest ideaalse valiku kõrgelt juhtivate ja läbipaistvate elektroodide sadestamiseks puutetundlikele ekraanidele ning säravalt peegeldavate ja madala kiirgusvõimega katete paigaldamiseks energiasäästlikele akendele.

Väärismetalle, nagu kuld (Au) ja plaatina (Pt), kasutatakse väga usaldusväärsete ja korrosioonikindlate elektrikontaktide ning spetsiaalsete andurite valmistamiseks.

Siirdemetallid nagu titaan (Ti) ja tantaal (Ta) on oma suurepäraste adhesiooni- ja barjääriomaduste poolest üliolulised, moodustades sageli aluspinnale aluskihi enne teiste materjalide pealekandmist.

Kuigi see mitmekesine materjalide komplekt võimaldab kasutada tänapäevast tehnoloogiat, on vase juhtivus, nikli töökindlus ja hõbeda ülim peegeldusvõime oma vastavates rakendustes ületamatud. Nende kõrge puhtusastmega metallide püsiv kvaliteet on kõrgjõudlusega õhukeste kilekatete alus.


Postituse aeg: 24. november 2025